设备简介(100~200字左右)

 

SPM-9500J3扫描探针微镜是日本岛津公司(SHIMADZU)的可控气氛SPM产品, 可在大气中简单地进行高放大倍率的表面观察，并可直接观察非导电性样品，可精确测定样品表面的高程差。探针尖端可测定样品的物理性质。

追加的可控气氛分析室可进行气氛控制下的SPM观察.可控制样品周围环境,通过大型观察孔和操作手套可自由地在分析室内部进行前处理.作为in-Situ SPM可通入不同的气体对样品进行吹扫，并调节腔体内的温度、湿度等来实现SPM的测试环境的可控操作，达到各种样品材料的表面形貌和性能的原位动态分析。

 

主要设备参数(技术指标)：

1.        系统测量模式：接触模式， 动态模式(轻敲模式)，3非接触式

2.      扫描范围

a)        XY: 广域扫描器：125µm

           标准扫描器：2.5µm

b)        Z:   广域扫描器：8µm

           标准扫描器：0.3µm

3.        分辨能力

   XY：≤0.2nm, Z：≤0.01nm

4.        全自动驱近，最小步宽≤25nm

5.      样品最大尺寸为：≥φ20mm×8mm

     移动量XY: ≥±5 mm  Z: ≥10mm

6． 内部减震系统

7． SPM 控制单元

8． 扫描速度：0.1~100Hz